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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第376位 103件 (2010年:第347位 127件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第886位 31件 (2010年:第2005位 9件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-171497 | マスクの製造方法 | 2011年 9月 1日 | |
特開 2011-159723 | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年 8月18日 | |
特開 2011-151111 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-151060 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその近接効果補正方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-151118 | 半導体製造装置および半導体製造方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-151122 | 荷電粒子ビーム装置及び搬送ロボットのティーチング方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-151123 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-145263 | 検査装置および検査方法 | 2011年 7月28日 | |
特開 2011-147080 | パルス発生器およびパルス発生方法 | 2011年 7月28日 | |
特開 2011-146250 | 電子銃用のエミッタ使用方法 | 2011年 7月28日 | |
特開 2011-134974 | 基板カバーおよびそれを用いた荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年 7月 7日 | 共同出願 |
特開 2011-129673 | 荷電粒子ビーム描画装置及び基板配置室の温度調整方法 | 2011年 6月30日 | |
特開 2011-129770 | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビームのビーム軸の位置ずれ補正方法 | 2011年 6月30日 | |
特開 2011-129674 | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及び基板ホルダ | 2011年 6月30日 | |
特開 2011-129624 | 荷電粒子ビーム描画装置の故障診断方法 | 2011年 6月30日 |
103 件中 31-45 件を表示
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2011-171497 2011-159723 2011-151111 2011-151060 2011-151118 2011-151122 2011-151123 2011-145263 2011-147080 2011-146250 2011-134974 2011-129673 2011-129770 2011-129674 2011-129624
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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