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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2011年 出願公開件数ランキング    第376位 103件 下降2010年:第347位 127件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第886位 31件 上昇2010年:第2005位 9件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4847625 荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法 2011年12月28日
特許 4841878 電子ビーム装置及び電子ビームの照射方法 2011年12月21日
特許 4828460 描画データ作成方法及び描画データファイルを格納した記憶媒体 2011年11月30日
特許 4828326 荷電ビーム描画装置用低振動ステージ駆動装置 2011年11月30日
特許 4819514 DACセトリング特性評価方法、DACセトリング特性評価装置及び電子線描画装置 2011年11月24日
特許 4814716 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2011年11月16日
特許 4814805 荷電粒子ビーム描画装置 2011年11月16日
特許 4814610 吸引補助具 2011年11月16日
特許 4805686 電子線描画装置用偏向器及び電子線描画装置 2011年11月 2日
特許 4801982 荷電ビーム描画方法及び描画装置 2011年10月26日
特許 4801996 試料移動機構及び荷電粒子ビーム描画装置 2011年10月26日
特許 4802025 基板のアース機構及び荷電粒子ビーム描画装置 2011年10月26日
特許 4778777 荷電粒子線描画データの作成方法 2011年 9月21日
特許 4778776 荷電粒子線描画データの作成方法 2011年 9月21日
特許 4773224 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及びプログラム 2011年 9月14日

31 件中 1-15 件を表示

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4847625 4841878 4828460 4828326 4819514 4814716 4814805 4814610 4805686 4801982 4801996 4802025 4778777 4778776 4773224

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