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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第376位 103件
(2010年:第347位 127件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第886位 31件
(2010年:第2005位 9件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4847625 | 荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法 | 2011年12月28日 | |
特許 4841878 | 電子ビーム装置及び電子ビームの照射方法 | 2011年12月21日 | |
特許 4828460 | 描画データ作成方法及び描画データファイルを格納した記憶媒体 | 2011年11月30日 | |
特許 4828326 | 荷電ビーム描画装置用低振動ステージ駆動装置 | 2011年11月30日 | |
特許 4819514 | DACセトリング特性評価方法、DACセトリング特性評価装置及び電子線描画装置 | 2011年11月24日 | |
特許 4814716 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年11月16日 | |
特許 4814805 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年11月16日 | |
特許 4814610 | 吸引補助具 | 2011年11月16日 | |
特許 4805686 | 電子線描画装置用偏向器及び電子線描画装置 | 2011年11月 2日 | |
特許 4801982 | 荷電ビーム描画方法及び描画装置 | 2011年10月26日 | |
特許 4801996 | 試料移動機構及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年10月26日 | |
特許 4802025 | 基板のアース機構及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年10月26日 | |
特許 4778777 | 荷電粒子線描画データの作成方法 | 2011年 9月21日 | |
特許 4778776 | 荷電粒子線描画データの作成方法 | 2011年 9月21日 | |
特許 4773224 | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及びプログラム | 2011年 9月14日 |
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4847625 4841878 4828460 4828326 4819514 4814716 4814805 4814610 4805686 4801982 4801996 4802025 4778777 4778776 4773224
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4月4日(金) -
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