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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2011年 出願公開件数ランキング    第376位 103件 下降2010年:第347位 127件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第886位 31件 上昇2010年:第2005位 9件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-40466 荷電粒子ビーム描画装置、偏向器間のタイミング調整方法、及び偏向アンプの故障検出方法 2011年 2月24日
特開 2011-40450 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2011年 2月24日
特開 2011-39012 検査装置 2011年 2月24日 共同出願
特開 2011-33932 荷電粒子ビーム描画装置および方法 2011年 2月17日
特開 2011-35298 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2011年 2月17日
特開 2011-23522 半導体製造装置および半導体製造方法 2011年 2月 3日
特開 2011-21253 成膜装置 2011年 2月 3日
特開 2011-23564 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画データ作成装置 2011年 2月 3日
特開 2011-22581 電子ビーム・マスク描画装置及びディジタル・アナログ変換/アンプ回路のテスト方法 2011年 2月 3日
特開 2011-23551 ステージ駆動装置 2011年 2月 3日
特開 2011-23542 荷電粒子ビーム描画方法および装置 2011年 2月 3日
特開 2011-14630 基板カバー着脱機構、基板カバー着脱方法および描画装置 2011年 1月20日
特開 2011-9500 半導体製造方法および半導体製造装置 2011年 1月13日

103 件中 91-103 件を表示

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2011-40466 2011-40450 2011-39012 2011-33932 2011-35298 2011-23522 2011-21253 2011-23564 2011-22581 2011-23551 2011-23542 2011-14630 2011-9500

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