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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第60位 712件
(2012年:第53位 714件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第45位 796件
(2012年:第37位 902件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-185760 | 熱処理装置 | 2013年 9月19日 | |
特開 2013-187457 | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 | 2013年 9月19日 | |
特開 2013-187492 | 液処理装置 | 2013年 9月19日 | |
特開 2013-187490 | 液処理装置 | 2013年 9月19日 | |
特開 2013-186191 | 補助露光装置 | 2013年 9月19日 | |
再表 2012-14881 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-182972 | 基板の接合方法及び半導体装置 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-183063 | 半導体装置の製造方法及びコンピュータ記録媒体 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-183140 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-181231 | ゲルマニウム薄膜の成膜方法 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-182973 | 基板の接合方法及び半導体装置 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-179252 | 基板処理ブラシ及び基板処理装置並びに基板処理方法 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-179354 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-179329 | 針先位置検出装置及びプローブ装置 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-179287 | 基板収容容器のパージ方法 | 2013年 9月 9日 |
712 件中 181-195 件を表示
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2013-185760 2013-187457 2013-187492 2013-187490 2013-186191 2012-14881 2013-182972 2013-183063 2013-183140 2013-181231 2013-182973 2013-179252 2013-179354 2013-179329 2013-179287
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