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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第60位 712件
(2012年:第53位 714件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第45位 796件
(2012年:第37位 902件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-175640 | 基板の表面改質方法、コンピュータ記憶媒体及び基板の表面改質装置 | 2013年 9月 5日 | |
特表 2013-534712 | プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子 | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-175430 | マイクロ波放射機構、マイクロ波プラズマ源および表面波プラズマ処理装置 | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-175514 | 冷却システム、冷却システムを備える基板処理装置及び冷却方法 | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-171987 | 塗布処理方法及び塗布処理装置 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-172153 | MOCVD反応器用シャワーヘッド、MOCVD反応器、MOCVD装置及び洗浄方法 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-171872 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-171890 | 半導体装置の製造方法 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-171983 | 基板処理装置 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-171847 | プラズマ処理装置及びプラズマのモニタリング方法 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-171862 | 金属ペースト充填方法及び金属ペースト充填装置及びビアプラグ作製方法 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-171871 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-172120 | 周辺露光方法及び周辺露光装置 | 2013年 9月 2日 | |
特開 2013-172013 | 基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法 | 2013年 9月 2日 | |
特表 2013-533980 | 反復空間高調波次数切り捨てによる計算効率化 | 2013年 8月29日 | 共同出願 |
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2013-175640 2013-534712 2013-175430 2013-175514 2013-171987 2013-172153 2013-171872 2013-171890 2013-171983 2013-171847 2013-171862 2013-171871 2013-172120 2013-172013 2013-533980
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2月27日(木) -
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2月27日(木) -
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3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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