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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-175640 基板の表面改質方法、コンピュータ記憶媒体及び基板の表面改質装置 2013年 9月 5日
特表 2013-534712 プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子 2013年 9月 5日
特開 2013-175430 マイクロ波放射機構、マイクロ波プラズマ源および表面波プラズマ処理装置 2013年 9月 5日
特開 2013-175514 冷却システム、冷却システムを備える基板処理装置及び冷却方法 2013年 9月 5日
特開 2013-171987 塗布処理方法及び塗布処理装置 2013年 9月 2日
特開 2013-172153 MOCVD反応器用シャワーヘッド、MOCVD反応器、MOCVD装置及び洗浄方法 2013年 9月 2日
特開 2013-171872 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 9月 2日
特開 2013-171890 半導体装置の製造方法 2013年 9月 2日
特開 2013-171983 基板処理装置 2013年 9月 2日
特開 2013-171847 プラズマ処理装置及びプラズマのモニタリング方法 2013年 9月 2日
特開 2013-171862 金属ペースト充填方法及び金属ペースト充填装置及びビアプラグ作製方法 2013年 9月 2日
特開 2013-171871 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 9月 2日
特開 2013-172120 周辺露光方法及び周辺露光装置 2013年 9月 2日
特開 2013-172013 基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法 2013年 9月 2日
特表 2013-533980 反復空間高調波次数切り捨てによる計算効率化 2013年 8月29日 共同出願

712 件中 211-225 件を表示

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2013-175640 2013-534712 2013-175430 2013-175514 2013-171987 2013-172153 2013-171872 2013-171890 2013-171983 2013-171847 2013-171862 2013-171871 2013-172120 2013-172013 2013-533980

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