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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第60位 712件
(2012年:第53位 714件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第45位 796件
(2012年:第37位 902件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-168437 | 成膜装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-167451 | 風速計測方法及び風速計測装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168131 | 処理装置及びバルブ動作確認方法 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-166287 | 熱融着装置及び熱融着方法 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168449 | 基板処理装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168461 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168675 | 処理容器およびプラズマ処理装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168690 | プラズマ処理装置およびフォーカスリングとフォーカスリング部品 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168400 | 半導体デバイス検査装置用配線基板及びその製造方法 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168429 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-165254 | プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子 | 2013年 8月22日 | |
特開 2013-163856 | スパッタ装置 | 2013年 8月22日 | |
再表 2012-2232 | プラズマ処理装置及び方法 | 2013年 8月22日 | |
特開 2013-165119 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 8月22日 | |
特開 2013-165276 | 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 | 2013年 8月22日 |
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2013-168437 2013-167451 2013-168131 2013-166287 2013-168449 2013-168461 2013-168675 2013-168690 2013-168400 2013-168429 2013-165254 2013-163856 2012-2232 2013-165119 2013-165276
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