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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-157520 マイクロ波放射機構および表面波プラズマ処理装置 2013年 8月15日
特開 2013-157508 載置台製造方法,ロードロックチャンバ,基板処理装置 2013年 8月15日
特開 2013-157351 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2013年 8月15日
特開 2013-153063 液処理装置 2013年 8月 8日
特開 2013-153221 アモルファスカーボン膜の形成方法および形成装置 2013年 8月 8日
特開 2013-153143 成膜方法 2013年 8月 8日
特開 2013-151723 処理装置及びプロセス状態の確認方法 2013年 8月 8日
特開 2013-153135 基板処理装置および基板処理方法 2013年 8月 8日
特開 2013-153075 被処理基体の処理方法 2013年 8月 8日
特開 2013-152919 マイクロ波加熱処理装置および処理方法 2013年 8月 8日
特開 2013-149935 離脱制御方法及びプラズマ処理装置 2013年 8月 1日
特開 2013-149915 エッチング方法及びエッチング装置 2013年 8月 1日
特開 2013-149722 基板処理装置 2013年 8月 1日
特開 2013-149658 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム 2013年 8月 1日
特開 2013-149657 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム 2013年 8月 1日

712 件中 271-285 件を表示

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2013-157520 2013-157508 2013-157351 2013-153063 2013-153221 2013-153143 2013-151723 2013-153135 2013-153075 2013-152919 2013-149935 2013-149915 2013-149722 2013-149658 2013-149657

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