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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-74016 基板の処理方法及び基板の処理装置 2013年 4月22日
特開 2013-74237 シリコン酸化膜の形成方法およびその形成装置 2013年 4月22日
特開 2013-74240 三次元実装装置 2013年 4月22日
特開 2013-74065 膜の形成方法および形成装置 2013年 4月22日
特開 2013-74031 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2013年 4月22日
特開 2013-74028 チップの三次元実装方法 2013年 4月22日
特開 2013-66969 ねじ部材締付け方法および管継手 2013年 4月18日 共同出願
特開 2013-66968 多角孔付きボルトの締付け治具 2013年 4月18日 共同出願
特開 2013-66967 ねじ部材締付け装置および管継手用締付け装置 2013年 4月18日 共同出願
特開 2013-68270 継手用シール装置 2013年 4月18日 共同出願
特開 2013-68269 管継手 2013年 4月18日 共同出願
特開 2013-68268 継手 2013年 4月18日 共同出願
特開 2013-69949 液処理装置 2013年 4月18日
特開 2013-66829 処理液吐出ノズル及び基板処理装置 2013年 4月18日
特開 2013-69874 基板処理システム、基板搬送方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2013年 4月18日

712 件中 496-510 件を表示

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2013-74016 2013-74237 2013-74240 2013-74065 2013-74031 2013-74028 2013-66969 2013-66968 2013-66967 2013-68270 2013-68269 2013-68268 2013-69949 2013-66829 2013-69874

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