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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2013-232630	基板保持装置および基板保持方法	2013年11月14日
特開 2013-232685	接合装置	2013年11月14日
特開 2013-232621	パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体	2013年11月14日
特開 2013-232529	不純物拡散方法、基板処理装置及び半導体装置の製造方法	2013年11月14日
特開 2013-231919	インク材料の改質方法及びインク材料の改質装置	2013年11月14日	共同出願
特開 2013-232593	エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体	2013年11月14日
特開 2013-232653	歪みゲルマニウム含有層を有するデバイスのためのＵＶ支援による誘電層形成	2013年11月14日
特開 2013-230036	モータ制御装置、モータ制御方法及び記憶媒体	2013年11月 7日
特開 2013-229622	成膜装置及びそのクリーニング方法	2013年11月 7日
特開 2013-229571	電解液注入方法及び電解液注入装置	2013年11月 7日
特開 2013-229445	被処理基体に対する微粒子付着の制御方法、及び、処理装置	2013年11月 7日
特開 2013-227648	トラップ機構、排気系及び成膜装置	2013年11月 7日
特開 2013-228492	パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体	2013年11月 7日
特開 2013-229373	基板処理装置及びそのメンテナンス方法	2013年11月 7日
特開 2013-229501	液処理装置、液処理方法および記憶媒体	2013年11月 7日

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2013-232630 2013-232685 2013-232621 2013-232529 2013-231919 2013-232593 2013-232653 2013-230036 2013-229622 2013-229571 2013-229445 2013-227648 2013-228492 2013-229373 2013-229501

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