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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

(ランキング更新日:2020年7月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-228492 パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 2013年11月 7日
特開 2013-225684 ガス供給装置、処理装置及び処理方法 2013年10月31日
特開 2013-225681 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 2013年10月31日
特表 2013-540272 構造の非対称特性の判定方法 2013年10月31日 共同出願
特開 2013-225628 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2013年10月31日
特開 2013-222875 堆積物除去方法及びガス処理装置 2013年10月28日
特開 2013-222852 有機膜をエッチングする方法及びプラズマエッチング装置 2013年10月28日
特開 2013-222948 基板処理装置 2013年10月28日
特開 2013-222949 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2013年10月28日
特開 2013-222900 基板処理システム、基板搬送方法および記憶媒体 2013年10月28日
特開 2013-222947 液処理装置及び液処理方法並びにフィルタ装置 2013年10月28日
再表 2012-26286 エッチング方法、基板処理方法、パターン形成方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子 2013年10月28日
特開 2013-219328 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2013年10月24日
特開 2013-219069 基板保持装置および基板保持方法 2013年10月24日
特開 2013-219070 基板保持装置および基板保持方法 2013年10月24日

712 件中 91-105 件を表示

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2013-228492 2013-225684 2013-225681 2013-540272 2013-225628 2013-222875 2013-222852 2013-222948 2013-222949 2013-222900 2013-222947 2012-26286 2013-219328 2013-219069 2013-219070

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