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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第60位 712件
(2012年:第53位 714件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第45位 796件
(2012年:第37位 902件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-229501 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 | 2013年11月 7日 | |
特表 2013-540272 | 構造の非対称特性の判定方法 | 2013年10月31日 | 共同出願 |
特開 2013-225681 | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 | 2013年10月31日 | |
特開 2013-225684 | ガス供給装置、処理装置及び処理方法 | 2013年10月31日 | |
特開 2013-225628 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | 2013年10月31日 | |
特開 2013-222852 | 有機膜をエッチングする方法及びプラズマエッチング装置 | 2013年10月28日 | |
再表 2012-26286 | エッチング方法、基板処理方法、パターン形成方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-222900 | 基板処理システム、基板搬送方法および記憶媒体 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-222947 | 液処理装置及び液処理方法並びにフィルタ装置 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-222948 | 基板処理装置 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-222875 | 堆積物除去方法及びガス処理装置 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-222949 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-219380 | 成膜方法及び成膜装置 | 2013年10月24日 | 共同出願 |
特開 2013-219390 | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2013年10月24日 | |
特開 2013-219314 | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び記憶媒体 | 2013年10月24日 |
712 件中 91-105 件を表示
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2013-229501 2013-540272 2013-225681 2013-225684 2013-225628 2013-222852 2012-26286 2013-222900 2013-222947 2013-222948 2013-222875 2013-222949 2013-219380 2013-219390 2013-219314
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5月30日(金) -
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6月4日(水) -
6月4日(水) -
6月4日(水) -
6月5日(木) -
6月6日(金) -
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