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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5336968 プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 2013年11月 6日
特許 5330563 成膜装置 2013年10月30日
特許 5326359 針跡検査装置、プローブ装置、及び針跡検査方法、並びに記憶媒体 2013年10月30日
特許 5327238 塗布処理装置、塗布処理方法及び記憶媒体 2013年10月30日
特許 5331096 めっき処理装置 2013年10月30日
特許 5327135 周縁露光装置及び周縁露光方法 2013年10月30日
特許 5327144 処理装置及び処理方法 2013年10月30日
特許 5329072 処理容器およびプラズマ処理装置 2013年10月30日
特許 5327147 プラズマ処理装置 2013年10月30日
特許 5329167 誘導結合プラズマ処理装置、誘導結合プラズマ処理方法および記憶媒体 2013年10月30日
特許 5330562 成膜装置 2013年10月30日
特許 5329352 超音波洗浄装置、超音波洗浄方法、およびこの超音波洗浄方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体 2013年10月30日
特許 5330793 基板処理装置及び基板処理方法 2013年10月30日
特許 5323661 枚葉式の基板液処理装置における循環ラインの液交換方法 2013年10月23日
特許 5323306 プラズマエッチング方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 2013年10月23日

794 件中 136-150 件を表示

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5336968 5330563 5326359 5327238 5331096 5327135 5327144 5329072 5327147 5329167 5330562 5329352 5330793 5323661 5323306

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