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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5542743 熱処理装置および熱処理方法 2014年 7月 9日
特許 5546893 インプリント方法 2014年 7月 9日
特許 5545061 処理装置及び成膜方法 2014年 7月 9日
特許 5545055 支持体構造及び処理装置 2014年 7月 9日
特許 5544985 液処理装置 2014年 7月 9日
特許 5544907 ガスシャワー用の構造体及び基板処理装置 2014年 7月 9日
特許 5544413 ツール性能劣化およびミスマッチの検出のための方法およびシステム 2014年 7月 9日
特許 5542697 生物学に基づく自律学習ツール 2014年 7月 9日
特許 5547366 プラズマ処理装置 2014年 7月 9日
特許 5547147 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 7月 9日
特許 5546472 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2014年 7月 9日
特許 5544893 基板処理方法及び記憶媒体 2014年 7月 9日
特許 5544343 成膜装置 2014年 7月 9日
特許 5543633 基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 2014年 7月 9日
特許 5541311 基板洗浄方法、基板洗浄装置、現像方法、現像装置及び記憶媒体 2014年 7月 9日

694 件中 256-270 件を表示

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5542743 5546893 5545061 5545055 5544985 5544907 5544413 5542697 5547366 5547147 5546472 5544893 5544343 5543633 5541311

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