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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4677918 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2011年 4月27日
特許 4676189 高周波給電装置及びプラズマ処理装置 2011年 4月27日
特許 4677681 熱電対の信号処理装置及び熱電対の信号処理方法並びに熱処理装置 2011年 4月27日
特許 4678665 基板処理方法および基板処理装置 2011年 4月27日
特許 4676074 フォーカスリング及びプラズマ処理装置 2011年 4月27日
特許 4675990 メモリ装置 2011年 4月27日
特許 4675772 液処理方法、液処理装置、制御プログラム、およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 2011年 4月27日
特許 4674792 静電チャック 2011年 4月20日 共同出願
特許 4673180 塗布装置及び塗布方法 2011年 4月20日
特許 4672480 塗布処理装置 2011年 4月20日
特許 4675127 薄膜形成装置、薄膜形成装置の洗浄方法及びプログラム 2011年 4月20日
特許 4672464 洗浄装置および洗浄方法、ならびにコンピュータにより読取可能な記憶媒体 2011年 4月20日
特許 4674705 搬送システムの搬送位置合わせ方法及び搬送システム 2011年 4月20日
特許 4675401 基板搬送装置 2011年 4月20日
特許 4675388 被処理体の処理装置 2011年 4月20日

739 件中 526-540 件を表示

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4677918 4676189 4677681 4678665 4676074 4675990 4675772 4674792 4673180 4672480 4675127 4672464 4674705 4675401 4675388

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