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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5357289 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及び記憶媒体 2013年12月 4日
特許 5358436 プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 2013年12月 4日
特許 5350043 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2013年11月27日
特許 5355951 液処理装置 2013年11月27日
特許 5352103 熱処理装置および処理システム 2013年11月27日
特許 5352609 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2013年11月27日
特許 5350747 熱処理装置 2013年11月27日
特許 5351948 アモルファスカーボン膜の形成方法および形成装置 2013年11月27日
特許 5351479 加熱源の冷却構造 2013年11月27日
特許 5352546 接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2013年11月27日
特許 5353905 プラズマ処理装置及び酸化膜の形成方法 2013年11月27日
特許 5350424 表面処理方法 2013年11月27日
特許 5355615 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、基板処理装置及びインプリントシステム 2013年11月27日
特許 5351317 基板処理装置 2013年11月27日
特許 5355451 接合装置 2013年11月27日

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5357289 5358436 5350043 5355951 5352103 5352609 5350747 5351948 5351479 5352546 5353905 5350424 5355615 5351317 5355451

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