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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5351317 基板処理装置 2013年11月27日
特許 5353905 プラズマ処理装置及び酸化膜の形成方法 2013年11月27日
特許 5348083 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2013年11月20日
特許 5349445 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2013年11月20日
特許 5346699 Ge−Sb−Te膜の成膜方法および記憶媒体、ならびにPRAMの製造方法 2013年11月20日
特許 5349741 情報処理装置、半導体製造システム、情報処理方法、プログラム、及び記録媒体 2013年11月20日
特許 5348290 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2013年11月20日
特許 5348919 電極構造及び基板処理装置 2013年11月20日
特許 5344824 レジストパターンの形成方法および記録媒体 2013年11月20日
特許 5348848 プラズマ処理装置 2013年11月20日
特許 5347294 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年11月20日
特許 5347868 載置台構造及びプラズマ成膜装置 2013年11月20日
特許 5349066 CDバイアスの減少したシリコン含有反射防止コーティング層のエッチング方法 2013年11月20日
特許 5345167 基板保持装置 2013年11月20日
特許 5348277 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 2013年11月20日

794 件中 91-105 件を表示

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5351317 5353905 5348083 5349445 5346699 5349741 5348290 5348919 5344824 5348848 5347294 5347868 5349066 5345167 5348277

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