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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5350424 表面処理方法 2013年11月27日
特許 5351479 加熱源の冷却構造 2013年11月27日
特許 5349741 情報処理装置、半導体製造システム、情報処理方法、プログラム、及び記録媒体 2013年11月20日
特許 5348919 電極構造及び基板処理装置 2013年11月20日
特許 5347294 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年11月20日
特許 5346699 Ge−Sb−Te膜の成膜方法および記憶媒体、ならびにPRAMの製造方法 2013年11月20日
特許 5346049 テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、テンプレート処理装置及びインプリントシステム 2013年11月20日
特許 5348848 プラズマ処理装置 2013年11月20日
特許 5347214 載置台構造及び熱処理装置 2013年11月20日
特許 5346904 縦型成膜装置およびその使用方法 2013年11月20日
特許 5348277 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 2013年11月20日
特許 5347868 載置台構造及びプラズマ成膜装置 2013年11月20日
特許 5345167 基板保持装置 2013年11月20日
特許 5344824 レジストパターンの形成方法および記録媒体 2013年11月20日
特許 5348083 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2013年11月20日

794 件中 91-105 件を表示

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5350424 5351479 5349741 5348919 5347294 5346699 5346049 5348848 5347214 5346904 5348277 5347868 5345167 5344824 5348083

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