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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5084656 現像処理方法及び現像処理装置 2012年11月28日
特許 5083153 真空処理装置 2012年11月28日
特許 5083268 基板支持装置 2012年11月28日
特許 5082246 プラズマ発生用の電極、プラズマ処理装置及びプラズマ発生用の電極の製造方法 2012年11月28日
特許 5082411 成膜方法 2012年11月28日
特許 5082595 成膜装置 2012年11月28日
特許 5081261 塗布装置 2012年11月28日
特許 5084508 クリーニング方法 2012年11月28日
特許 5080775 処理終点検出方法及び処理終点検出装置 2012年11月21日
特許 5076750 プローブ装置及びプローブ方法 2012年11月21日
特許 5078617 選択的プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 2012年11月21日
特許 5079890 積層基板及びプローブカード 2012年11月21日
特許 5075246 基板搬送装置、基板処理システムおよび基板搬送方法 2012年11月21日
特許 5077844 光学的に調節可能な反射防止コーティングの作製方法 2012年11月21日
特許 5079806 検査用構造体 2012年11月21日

902 件中 106-120 件を表示

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5084656 5083153 5083268 5082246 5082411 5082595 5081261 5084508 5080775 5076750 5078617 5079890 5075246 5077844 5079806

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