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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5346699 Ge−Sb−Te膜の成膜方法および記憶媒体、ならびにPRAMの製造方法 2013年11月20日
特許 5344824 レジストパターンの形成方法および記録媒体 2013年11月20日
特許 5346904 縦型成膜装置およびその使用方法 2013年11月20日
特許 5349066 CDバイアスの減少したシリコン含有反射防止コーティング層のエッチング方法 2013年11月20日
特許 5341510 窒化珪素膜の形成方法、半導体装置の製造方法およびプラズマCVD装置 2013年11月13日
特許 5338335 搬送容器の開閉装置及びプローブ装置 2013年11月13日
特許 5338777 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2013年11月13日
特許 5342295 ゲートバルブ装置 2013年11月13日
特許 5338897 光増感色素の色素吸着方法及び吸着装置、色素増感太陽電池の製造方法及び製造装置 2013年11月13日 共同出願
特許 5341986 蒸着処理装置および蒸着処理方法 2013年11月13日
特許 5343488 プローブ装置 2013年11月13日
特許 5340103 太陽電池 2013年11月13日
特許 5340299 蒸着装置、蒸着方法およびプログラムを記憶した記憶媒体 2013年11月13日
特許 5343369 半導体装置の製造方法、半導体製造装置及び記憶媒体 2013年11月13日
特許 5342811 半導体装置の製造方法 2013年11月13日

794 件中 106-120 件を表示

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5346699 5344824 5346904 5349066 5341510 5338335 5338777 5342295 5338897 5341986 5343488 5340103 5340299 5343369 5342811

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