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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5607587 | 基板処理装置及び同基板処理装置の除去処理体並びに基板処理方法 | 2014年10月15日 | |
特許 5606060 | エッチング方法及びエッチング処理装置 | 2014年10月15日 | |
特許 5603314 | 搬送装置及び基板処理システム | 2014年10月 8日 | |
特許 5602691 | 液処理装置および天板洗浄方法 | 2014年10月 8日 | |
特許 5602711 | 成膜方法及び成膜装置 | 2014年10月 8日 | |
特許 5604289 | 成膜装置 | 2014年10月 8日 | |
特許 5601796 | BSP除去装置 | 2014年10月 8日 | |
特許 5604063 | 基板処理方法及び記憶媒体 | 2014年10月 8日 | |
特許 5602690 | 液処理装置および液処理方法 | 2014年10月 8日 | |
特許 5604371 | 液処理装置および液処理方法 | 2014年10月 8日 | |
特許 5602282 | プラズマ処理装置およびフォーカスリングとフォーカスリング部品 | 2014年10月 8日 | |
特許 5600624 | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 | 2014年10月 1日 | |
特許 5600703 | 搬送装置及び搬送方法 | 2014年10月 1日 | |
特許 5597071 | アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置 | 2014年10月 1日 | |
特許 5597602 | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 | 2014年10月 1日 |
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5607587 5606060 5603314 5602691 5602711 5604289 5601796 5604063 5602690 5604371 5602282 5600624 5600703 5597071 5597602
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11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
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11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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11月30日(土) -
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12月1日(日) -
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