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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件 (2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5597857 | 簡略化されたミクロブリッジ形成及び粗さ解析 | 2014年10月 1日 | |
特許 5597602 | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 | 2014年10月 1日 | |
特許 5597071 | アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置 | 2014年10月 1日 | |
特許 5600703 | 搬送装置及び搬送方法 | 2014年10月 1日 | |
特許 5599754 | 基板処理装置、基板処理方法、およびこの基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体 | 2014年10月 1日 | |
特許 5596082 | 基板吸着離脱方法及び基板処理方法 | 2014年 9月24日 | |
特許 5596071 | 液処理装置 | 2014年 9月24日 | |
特許 5595795 | プラズマ処理装置用の消耗部品の再利用方法 | 2014年 9月24日 | |
特許 5595202 | 処理装置およびそのメンテナンス方法 | 2014年 9月24日 | |
特許 5595963 | 縦型バッチ式成膜装置 | 2014年 9月24日 | |
特許 5593418 | 処理容器およびプラズマ処理装置 | 2014年 9月24日 | |
特許 5591573 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2014年 9月17日 | |
特許 5590201 | 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 | 2014年 9月17日 | |
特許 5593299 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 9月17日 | |
特許 5590731 | 酸化表面層のハイブリッドその場ドライクリーニングプロセス | 2014年 9月17日 |
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5597857 5597602 5597071 5600703 5599754 5596082 5596071 5595795 5595202 5595963 5593418 5591573 5590201 5593299 5590731
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11月25日(月) -
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11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
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12月1日(日) -
11月25日(月) -
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