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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第61位 616件
(2015年:第56位 677件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第49位 561件
(2015年:第51位 433件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-178346 | 半導体集積回路チップを分離および搬送する方法 | 2016年10月 6日 | |
特開 2016-172902 | 原料ガス供給装置及び成膜装置 | 2016年 9月29日 | |
特開 2016-173924 | チューナおよびマイクロ波プラズマ源 | 2016年 9月29日 | |
特開 2016-174059 | 薄膜形成方法、および、薄膜形成装置 | 2016年 9月29日 | |
特開 2016-174081 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2016年 9月29日 | |
特開 2016-174141 | Cu配線の製造方法 | 2016年 9月29日 | |
特開 2016-174159 | 成膜装置 | 2016年 9月29日 | |
特表 2016-529736 | ハードマスクを横方向にトリミングする方法 | 2016年 9月23日 | |
特開 2016-170940 | マイクロ波自動整合器及びプラズマ処理装置 | 2016年 9月23日 | |
特開 2016-171159 | 磁性層をエッチングする方法 | 2016年 9月23日 | |
特開 2016-171180 | 基板保持具及びこれを用いた基板処理装置 | 2016年 9月23日 | |
特開 2016-171229 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2016年 9月23日 | |
特開 2016-171244 | 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 | 2016年 9月23日 | |
特表 2016-528551 | 基板裏側のテクスチャリング | 2016年 9月15日 | |
特開 2016-165726 | パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 | 2016年 9月15日 |
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2016-178346 2016-172902 2016-173924 2016-174059 2016-174081 2016-174141 2016-174159 2016-529736 2016-170940 2016-171159 2016-171180 2016-171229 2016-171244 2016-528551 2016-165726
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6月12日(木) -
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6月11日(水) -
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6月17日(火) -
6月17日(火) -
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6月19日(木) -
6月20日(金) - 東京 千代田区
6月20日(金) -
6月20日(金) - 愛知 名古屋市
6月16日(月) - 東京 大田
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