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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-137308 基板処理装置及び基板処理方法 2018年 8月30日
特開 2018-137350 処理レシピの評価方法、記憶媒体、処理レシピ評価用の支援装置、及び液処理装置 2018年 8月30日
特開 2018-137369 成膜方法及び成膜装置 2018年 8月30日
特開 2018-137383 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体 2018年 8月30日
特開 2018-137390 基板処理装置、および、処理システム 2018年 8月30日
再表 2017-86158 液処理装置 2018年 8月23日
特表 2018-523924 ダミーゲートを用いないパターニング方法 2018年 8月23日
特開 2018-133364 基板処理システム及び基板搬送方法 2018年 8月23日
特開 2018-133429 基板処理装置 2018年 8月23日
特開 2018-133464 真空処理装置、及びメンテナンス装置 2018年 8月23日
特開 2018-133483 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2018年 8月23日
特開 2018-133558 基板液処理装置 2018年 8月23日
特開 2018-133568 選択的なSiO2堆積を用いた自己整合コンタクトの形成方法 2018年 8月23日
再表 2017-81924 気化器、成膜装置及び温度制御方法 2018年 8月16日
再表 2017-90505 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 2018年 8月16日

591 件中 226-240 件を表示

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2018-137308 2018-137350 2018-137369 2018-137383 2018-137390 2017-86158 2018-523924 2018-133364 2018-133429 2018-133464 2018-133483 2018-133558 2018-133568 2017-81924 2017-90505

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