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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2025年6月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-186290 温調システム 2019年10月24日
特開 2019-186304 接合装置および接合方法 2019年10月24日
特開 2019-186306 ボロン系膜の成膜方法および成膜装置 2019年10月24日
特開 2019-186314 接合システムおよび接合方法 2019年10月24日
特開 2019-186322 被加工物の処理方法 2019年10月24日
特開 2019-186334 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年10月24日
特開 2019-186335 基板処理装置と基板処理方法 2019年10月24日
特開 2019-186361 結露防止方法および処理装置 2019年10月24日
特開 2019-186400 プラズマ処理装置、プラズマ制御方法、及びプラズマ制御プログラム 2019年10月24日
特開 2019-186405 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年10月24日
特開 2019-186409 成膜装置、及び成膜方法 2019年10月24日
特開 2019-186416 熱処理装置及び熱処理方法 2019年10月24日
特開 2019-186433 静電チャック、基板処理装置、及び、基板保持方法 2019年10月24日
特開 2019-186474 ボロン系膜の成膜方法および成膜装置 2019年10月24日
特開 2019-186487 処理装置及び処理装置の制御方法 2019年10月24日

665 件中 166-180 件を表示

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2019-186290 2019-186304 2019-186306 2019-186314 2019-186322 2019-186334 2019-186335 2019-186361 2019-186400 2019-186405 2019-186409 2019-186416 2019-186433 2019-186474 2019-186487

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