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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-54032 シリコン酸化膜を形成する方法および装置 2019年 4月 4日
特開 2019-54093 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2019年 4月 4日
特開 2019-54104 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2019年 4月 4日
特開 2019-54113 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年 4月 4日
特開 2019-54252 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2019年 4月 4日
再表 2017-183504 処理装置のメンテナンス制御方法及び制御装置 2019年 3月28日
再表 2017-221807 被処理体を処理する方法 2019年 3月28日
特表 2019-508889 メモリフィンパターンを形成するための方法及びシステム 2019年 3月28日
特開 2019-49016 成膜装置及び成膜方法 2019年 3月28日
特開 2019-49747 ネガティブトーン現像剤相溶性フォトレジスト組成物及び使用方法 2019年 3月28日
特開 2019-50235 半導体装置 2019年 3月28日
特開 2019-50287 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2019年 3月28日
特開 2019-50311 処理液供給装置 2019年 3月28日
特開 2019-50331 電圧印加装置および出力電圧波形の形成方法 2019年 3月28日
特開 2019-50342 被加工物を処理する方法 2019年 3月28日

665 件中 496-510 件を表示

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2019-54032 2019-54093 2019-54104 2019-54113 2019-54252 2017-183504 2017-221807 2019-508889 2019-49016 2019-49747 2019-50235 2019-50287 2019-50311 2019-50331 2019-50342

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