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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-50349 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 2019年 3月28日
特開 2019-50360 基板液処理装置及び記憶媒体 2019年 3月28日
特開 2019-50417 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年 3月28日
特開 2019-50423 基板液処理方法及び基板液処理装置 2019年 3月28日
特開 2019-50426 被整備テストヘッド及びウエハ検査装置 2019年 3月28日
特開 2019-44214 成膜方法及び成膜装置 2019年 3月22日
特開 2019-45246 流量測定システムを検査する方法 2019年 3月22日
特開 2019-46766 プラズマ処理装置 2019年 3月22日
特開 2019-46787 プラズマプローブ装置及びプラズマ処理装置 2019年 3月22日
特開 2019-46833 塗布処理装置及び塗布液捕集部材 2019年 3月22日
特開 2019-46843 搬送装置及び基板処理装置 2019年 3月22日
特開 2019-46853 エッチング方法およびエッチング装置 2019年 3月22日
特開 2019-46994 エッチング方法 2019年 3月22日
特開 2019-46997 脱離制御方法及びプラズマ処理装置 2019年 3月22日
特開 2019-47062 インターカレーション方法 2019年 3月22日

665 件中 511-525 件を表示

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2019-50349 2019-50360 2019-50417 2019-50423 2019-50426 2019-44214 2019-45246 2019-46766 2019-46787 2019-46833 2019-46843 2019-46853 2019-46994 2019-46997 2019-47062

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