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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-36751 基板処理装置 2019年 3月 7日
再表 2017-169556 プラズマ電極およびプラズマ処理装置 2019年 2月28日
特表 2019-506000 ラインエッジ粗さ及び他の集積化目標を満たすラズマ処理方法 2019年 2月28日
特開 2019-30222 培養容器 2019年 2月28日
特開 2019-31746 タングステン膜の成膜方法および成膜装置 2019年 2月28日
特開 2019-33111 基板処理方法および基板処理装置 2019年 2月28日
特開 2019-33126 プラズマ処理装置 2019年 2月28日
特開 2019-33153 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2019年 2月28日
特開 2019-33157 基板処理方法、記憶媒体および基板処理装置 2019年 2月28日
特開 2019-33228 シリコン窒化膜の成膜方法及び成膜装置 2019年 2月28日
特開 2019-33229 シリコン窒化膜の成膜方法及び成膜装置 2019年 2月28日
特開 2019-33230 シリコン窒化膜の成膜方法及び成膜装置 2019年 2月28日
特開 2019-33231 プラズマ処理装置 2019年 2月28日
特開 2019-33246 基板処理方法、記憶媒体及び基板処理システム 2019年 2月28日
特開 2019-33270 ウエハ検査装置 2019年 2月28日

665 件中 556-570 件を表示

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2019-36751 2017-169556 2019-506000 2019-30222 2019-31746 2019-33111 2019-33126 2019-33153 2019-33157 2019-33228 2019-33229 2019-33230 2019-33231 2019-33246 2019-33270

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