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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-43270 学習装置、推論装置及び学習済みモデル 2020年 3月19日
特開 2020-43328 プラズマ処理装置 2020年 3月19日
特開 2020-43356 半導体装置の製造方法 2020年 3月19日
特開 2020-37076 フィルタユニット、液処理システム及び液処理方法 2020年 3月12日
特開 2020-37086 フィルタ装置及び送液システム 2020年 3月12日
特開 2020-38320 レジスト膜の製造方法 2020年 3月12日
特開 2020-38880 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法 2020年 3月12日
特開 2020-38929 エッチング方法及びエッチング装置 2020年 3月12日
特開 2020-38947 基板処理装置 2020年 3月12日
特開 2020-39108 アンテナ装置、電磁波の放射方法、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 2020年 3月12日
特開 2020-33625 成膜装置及び成膜方法 2020年 3月 5日
特開 2020-33630 成膜方法及び成膜システム 2020年 3月 5日
特開 2020-35577 インピーダンス整合方法およびインピーダンス整合装置 2020年 3月 5日
特開 2020-35884 基板処理装置および基板処理方法 2020年 3月 5日
特開 2020-35920 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2020年 3月 5日

777 件中 631-645 件を表示

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2020-43270 2020-43328 2020-43356 2020-37076 2020-37086 2020-38320 2020-38880 2020-38929 2020-38947 2020-39108 2020-33625 2020-33630 2020-35577 2020-35884 2020-35920

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