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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-47864 | 埋め込み方法及び処理システム | 2020年 3月26日 | |
特開 2020-47932 | ウエハ検査装置 | 2020年 3月26日 | |
再表 2018-207672 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2020年 3月19日 | |
再表 2018-216566 | 基板処理方法、記憶媒体及び基板処理システム | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-40029 | 描画装置および描画方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-41193 | 真空搬送モジュール及び真空搬送方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43132 | 基板処理装置及びパージ方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43136 | 基板状態判定装置、基板処理装置、モデル作成装置及び基板状態判定方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43137 | 載置台、基板処理装置、エッジリング及びエッジリングの搬送方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43139 | 埋め込み方法及び処理システム | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43156 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43157 | 基板処理装置、基板処理方法、および記憶媒体 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43166 | 温調システム | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43171 | 温調方法 | 2020年 3月19日 | |
特開 2020-43180 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年 3月19日 |
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2020-47864 2020-47932 2018-207672 2018-216566 2020-40029 2020-41193 2020-43132 2020-43136 2020-43137 2020-43139 2020-43156 2020-43157 2020-43166 2020-43171 2020-43180
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2月26日(水) -
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2月26日(水) -
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2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
3月5日(水) -
3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
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3月7日(金) - 東京 港区
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