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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2020-15157 | 加工装置 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-15158 | 加工装置 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-15951 | 成膜方法及び成膜装置 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-15980 | (200)結晶学的集合組織を有する窒化チタン膜を形成するための方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-16255 | 伸縮装置 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-16592 | 検出装置、マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17105 | 基板処理装置周囲の監視システム | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17569 | エッチング方法及びエッチング装置 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17606 | ハードマスク用膜を形成する方法および装置、ならびに半導体装置の製造方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17618 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17632 | 基板処理装置、および基板処理方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17633 | 基板処理装置、および基板処理方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17646 | エッチング方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17685 | 基板処理装置及びプラズマシースの高さ制御方法 | 2020年 1月30日 | |
特開 2020-17697 | 成膜装置及び成膜方法 | 2020年 1月30日 |
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2020-15157 2020-15158 2020-15951 2020-15980 2020-16255 2020-16592 2020-17105 2020-17569 2020-17606 2020-17618 2020-17632 2020-17633 2020-17646 2020-17685 2020-17697
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