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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-15157 加工装置 2020年 1月30日
特開 2020-15158 加工装置 2020年 1月30日
特開 2020-15951 成膜方法及び成膜装置 2020年 1月30日
特開 2020-15980 (200)結晶学的集合組織を有する窒化チタン膜を形成するための方法 2020年 1月30日
特開 2020-16255 伸縮装置 2020年 1月30日
特開 2020-16592 検出装置、マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 2020年 1月30日
特開 2020-17105 基板処理装置周囲の監視システム 2020年 1月30日
特開 2020-17569 エッチング方法及びエッチング装置 2020年 1月30日
特開 2020-17606 ハードマスク用膜を形成する方法および装置、ならびに半導体装置の製造方法 2020年 1月30日
特開 2020-17618 基板処理装置および基板処理方法 2020年 1月30日
特開 2020-17632 基板処理装置、および基板処理方法 2020年 1月30日
特開 2020-17633 基板処理装置、および基板処理方法 2020年 1月30日
特開 2020-17646 エッチング方法 2020年 1月30日
特開 2020-17685 基板処理装置及びプラズマシースの高さ制御方法 2020年 1月30日
特開 2020-17697 成膜装置及び成膜方法 2020年 1月30日

777 件中 706-720 件を表示

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2020-15157 2020-15158 2020-15951 2020-15980 2020-16255 2020-16592 2020-17105 2020-17569 2020-17606 2020-17618 2020-17632 2020-17633 2020-17646 2020-17685 2020-17697

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