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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-17698 成膜方法及び成膜装置 2020年 1月30日
特開 2020-17700 基板処理装置及び基板処理制御方法 2020年 1月30日
特開 2020-17708 シリコン窒化膜の成膜方法及び成膜装置 2020年 1月30日
特開 2020-17709 プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 2020年 1月30日
特開 2020-17713 中間接続部材、および検査装置 2020年 1月30日
再表 2018-173836 基板処理装置 2020年 1月23日
再表 2018-174146 めっき処理方法、めっき処理装置及び記憶媒体 2020年 1月23日
再表 2018-186211 液供給装置および液供給方法 2020年 1月23日
特開 2020-11204 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2020年 1月23日
特開 2020-12136 成膜方法 2020年 1月23日
特開 2020-12137 成膜方法及び成膜装置 2020年 1月23日
特開 2020-12754 基板検査方法及び基板検査装置 2020年 1月23日
特開 2020-12785 位置測定装置および位置測定方法 2020年 1月23日
特開 2020-13808 熱処理装置及び基板滑り検出方法 2020年 1月23日
特開 2020-13813 接合装置および接合方法 2020年 1月23日

777 件中 721-735 件を表示

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2020-17698 2020-17700 2020-17708 2020-17709 2020-17713 2018-173836 2018-174146 2018-186211 2020-11204 2020-12136 2020-12137 2020-12754 2020-12785 2020-13808 2020-13813

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