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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第334位 117件
(2018年:第1087位 24件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第244位 113件
(2018年:第930位 22件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6456893 | 半導体装置の製造方法、記録媒体および基板処理装置 | 2019年 1月23日 | |
特許 6457101 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 1月23日 | |
特許 6457104 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2019年 1月23日 | |
特許 6452199 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2019年 1月16日 | |
特許 6453637 | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 1月16日 | |
特許 6453727 | 基板処理装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | 2019年 1月16日 | |
特許 6454425 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年 1月16日 | |
特許 6448502 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2019年 1月 9日 |
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6456893 6457101 6457104 6452199 6453637 6453727 6454425 6448502
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9月12日(金) -
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