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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第405位 81件
(2022年:第428位 76件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第265位 129件
(2022年:第234位 137件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7377892 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年11月10日 | |
特許 7374961 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年11月 7日 | |
特許 7375069 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2023年11月 7日 | |
特許 7372336 | 基板処理方法、プログラム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2023年10月31日 | |
特許 7371281 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置 | 2023年10月30日 | |
特許 7368427 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年10月24日 | |
特許 7364547 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2023年10月18日 | |
特許 7362940 | 基板処理装置、温度制御プログラム、半導体装置の製造方法及び温度制御方法 | 2023年10月17日 | |
特許 7361911 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年10月16日 | |
特許 7361005 | 基板処理装置、基板保持具、半導体装置の製造方法、及び、プログラム | 2023年10月13日 | |
特許 7361202 | 基板処理装置、ガス供給装置、原料供給管の洗浄方法、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2023年10月13日 | |
特許 7361223 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年10月13日 | |
特許 7358654 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2023年10月10日 | |
特許 7357660 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2023年10月 6日 | |
特許 7357733 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年10月 6日 |
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7377892 7374961 7375069 7372336 7371281 7368427 7364547 7362940 7361911 7361005 7361202 7361223 7358654 7357660 7357733
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