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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2015-96652	電気めっきシステムにおける、欠陥を減らすための膜設計	2015年 5月21日
特開 2015-97197	ＲＦ伝送路のインピーダンスの制御	2015年 5月21日
特開 2015-92483	電源供給を局所化する分散型電源装置	2015年 5月14日
特開 2015-92566	ガス濃度減衰器を備えるウエハ搬入ポート	2015年 5月14日
特開 2015-73096	パルス化された低周波数ＲＦ電力による高選択性かつ低応力のカーボンハードマスク	2015年 4月16日
特開 2015-70270	硫黄ドープ炭素ハードマスク	2015年 4月13日
特開 2015-65434	デュアルプラズマ源リアクタによるウエハ処理のためのイオン対中性種の制御	2015年 4月 9日
特開 2015-62225	小容積の密閉プロセスリアクタ内において圧力パルスとＲＦ変調とを協調させるためのシステム、方法、および装置	2015年 4月 2日
特表 2015-509280	半導体処理のための平面熱ゾーンを伴う熱板	2015年 3月26日
特表 2015-507352	無電解銅蒸着	2015年 3月 5日
特開 2015-43420	マルチポート弁アセンブリを備えるプラズマ処理装置	2015年 3月 5日
特表 2015-506055	対称的なＲＦ供給のための周囲ＲＦフィードおよび対称ＲＦリターン	2015年 2月26日
特開 2015-38964	３次元半導体フィーチャ内での空隙を含まないタングステン充填のための方法および装置	2015年 2月26日
特開 2015-38987	プラズマ処理装置のためのシリコン含有閉じ込めリングおよびその形成方法	2015年 2月26日
特表 2015-505421	プラズマ処理システムにおける混合モードパルシングエッチング	2015年 2月19日

62 件中 31-45 件を表示

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2015-96652 2015-97197 2015-92483 2015-92566 2015-73096 2015-70270 2015-65434 2015-62225 2015-509280 2015-507352 2015-43420 2015-506055 2015-38964 2015-38987 2015-505421

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