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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2020年出願公開件数ランキング　　　第499位　66件（2019年：第1534位　16件）

　■　2020年特許取得件数ランキング　　　第614位　36件（2019年：第656位　34件）

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2020-537811	プラズマチャンバ内のプラズマグロー放電を制御するための方法およびシステム	2020年12月24日
特表 2020-536217	シリコンチューブを製造するための炉および鋳型を含む電磁鋳造システム	2020年12月10日
特表 2020-536393	高エネルギー原子層エッチング	2020年12月10日
特表 2020-536462	マルチ周波数無線周波数（ＲＦ）バイアス用のＲＦフィルタ	2020年12月10日
特表 2020-535633	犠牲エッチングキャップ層を利用した高アスペクト比フィーチャの誘電体ギャップ充填	2020年12月 3日
特表 2020-535657	金属酸化物の原子層エッチング	2020年12月 3日
特表 2020-535666	パルス幅変調されたドーズ制御のためのシステムおよび方法	2020年12月 3日
特表 2020-534430	電気メッキ中に直交流動および衝突電解質の配送を制御するための方法および装置	2020年11月26日
特表 2020-534689	ウエハ同士の膜厚合わせのためのチャンバ蓄積に応じた堆積サイクル数の調節による厚さ補償	2020年11月26日
特開 2020-191474	二次パージ対応ＡＬＤシステムにおけるシャワーヘッド裏側の寄生プラズマを抑制するための方法及び装置	2020年11月26日
特表 2020-533484	アンダーポテンシャル析出および熱的処理を用いた金属薄層の電気化学ドーピング	2020年11月19日
特表 2020-533787	光計測を質量計測と組合せるためのシステム及び方法	2020年11月19日
特表 2020-532712	ガス排気副生成物測定システム	2020年11月12日
特表 2020-532852	エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および／または折りたたみ式エッジリングアセンブリ	2020年11月12日
特表 2020-532858	基板の選択した側に堆積させるためのＰＥＣＶＤ堆積システム	2020年11月12日

66 件中 1-15 件を表示

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2020-537811 2020-536217 2020-536393 2020-536462 2020-535633 2020-535657 2020-535666 2020-534430 2020-534689 2020-191474 2020-533484 2020-533787 2020-532712 2020-532852 2020-532858

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