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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2016-223009	縁部プレナムシャワーヘッドアセンブリを含む堆積装置	2016年12月28日
特開 2016-225616	多層セラミック製造技術を使用した発光阻止	2016年12月28日
特開 2016-216817	断続的な再修復プラズマを用い、ＡＬＤによる酸化ケイ素表面コーティングを使用したラジカル再結合の最少化	2016年12月22日
特開 2016-219790	対称なコンダクタンスおよびＲＦ供給のための垂直支持柱を備えたチェンバ	2016年12月22日
特開 2016-219803	流れ均一性を改善させるためのフェースプレート穴を有する低容積シャワーヘッド	2016年12月22日
特開 2016-219820	プラズマ処理チャンバの下側電極アセンブリ	2016年12月22日
特開 2016-212096	基板処理のための分光反射率計付き装置	2016年12月15日
特開 2016-213445	経験的モード分解を用いたプラズマエッチングシステムおよび方法	2016年12月15日
特開 2016-213447	加熱板、基板サポートアッセンブリ、加熱板の製造方法、及び、半導体基板をプラズマ処理する方法	2016年12月15日
特開 2016-213456	背面ガス供給管を備えた基板ペデスタルモジュールおよびその製造方法	2016年12月15日
特開 2016-213463	高温基板台座モジュール及びその構成要素	2016年12月15日
特開 2016-208018	清浄な／汚れた基板のハンドリングのためのエンドエフェクタアセンブリ	2016年12月 8日
特開 2016-208027	コバルトのエッチバック	2016年12月 8日
特開 2016-208031	ＭＲＡＭスタックをパターニングする乾式プラズマ・エッチング法	2016年12月 8日
特開 2016-208034	エッチングチャンバ及び堆積チャンバに利用するための長寿命溶射コーティング	2016年12月 8日

71 件中 1-15 件を表示

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2016-223009 2016-225616 2016-216817 2016-219790 2016-219803 2016-219820 2016-212096 2016-213445 2016-213447 2016-213456 2016-213463 2016-208018 2016-208027 2016-208031 2016-208034

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