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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2018年特許取得件数ランキング　　　第650位　36件（2017年：第896位　24件）

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2018-204104	ＲＦおよびガス供給のための金属化セラミック管を備える基板台座モジュール	2018年12月27日
特開 2018-195810	ハロゲン除去モジュールならびに関連のシステムおよび方法	2018年12月 6日
特開 2018-195847	金属シード層上の金属酸化物を還元するための方法および装置	2018年12月 6日
特開 2018-187623	チャンバコンポーネントの調整	2018年11月29日
特開 2018-186269	パターニング用途のための原子層エッチング、反応性前駆体、及びエネルギ源	2018年11月22日
特開 2018-182315	パターン崩壊を防ぐためのエッチング後処理	2018年11月15日
特開 2018-182322	原子層エッチングのリセットを伴う選択的堆積	2018年11月15日
特開 2018-162513	基板処理システムの前駆体蒸気供給システムにおけるフロー監視のためのシステム及び方法	2018年10月18日
特開 2018-164079	窒化シリコンの選択的成長	2018年10月18日
特開 2018-164093	プラズマ均一性調整のためのマルチ高周波インピーダンス制御	2018年10月18日
特開 2018-159131	ウェハ保持装置上のメッキの検知	2018年10月11日
特開 2018-154924	目標水平面への基板の接近を制御するためのシステムおよび方法	2018年10月 4日
特開 2018-152554	シリコン酸化物の選択的堆積	2018年 9月27日
特開 2018-152558	遠隔プラズマ膜堆積におけるウエハレベル均一性制御	2018年 9月27日
特開 2018-152560	触媒制御を用いる酸化シリコン上への窒化シリコンの選択的堆積	2018年 9月27日

52 件中 1-15 件を表示

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2018-204104 2018-195810 2018-195847 2018-187623 2018-186269 2018-182315 2018-182322 2018-162513 2018-164079 2018-164093 2018-159131 2018-154924 2018-152554 2018-152558 2018-152560

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