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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2026-510356	螺旋状チャネルおよび円形マニホールドを有するシャワーヘッドコールドプレートおよび基板支持体	2026年 4月 2日
特開 2026-55108	金属膜の蒸着	2026年 3月30日
特開 2026-54567	金属膜の蒸着	2026年 3月27日
特開 2026-53443	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2026年 3月25日
特開 2026-53556	基板処理台座のための内部フィンを備えた冷却剤チャネル	2026年 3月25日
特開 2026-53603	フェイスレスシャワーヘッド	2026年 3月25日
特開 2026-53604	セラミックベースプレートを備えるマルチプレート静電チャック	2026年 3月25日
特開 2026-48855	シールを含む台座	2026年 3月17日
特開 2026-48895	パージリングを介した局所的なプラズマアークの防止	2026年 3月17日
特表 2026-508997	フローオーバーベーパー前駆体供給	2026年 3月16日
特表 2026-508787	基板処理システムのシャワーヘッドのためのカップ状バッフルプレート	2026年 3月13日
特開 2026-42828	コバルト、ニッケル、および、それらの合金の電気メッキ	2026年 3月11日
特表 2026-508039	３Ｄダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）および３Ｄ－ＤＲＡＭを製作するための方法	2026年 3月10日
特表 2026-507749	耐アーク性静電チャックおよび静電チャック用のアーク低減プラグ	2026年 3月 5日
特開 2026-35827	ラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給して遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするための温度制御を備えた統合シャワーヘッド	2026年 3月 4日

55 件中 1-15 件を表示

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2026-510356 2026-55108 2026-54567 2026-53443 2026-53556 2026-53603 2026-53604 2026-48855 2026-48895 2026-508997 2026-508787 2026-42828 2026-508039 2026-507749 2026-35827

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