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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2026-534853	マッチレスプラズマ源からの電力出力を調節するためのシステムおよび方法	2026年10月21日
特開 2026-170327	誘電体エッチングにおけるプロファイルツイスティング制御	2026年10月21日
特表 2026-534485	マスフローコントローラの自動フロー補正のための化学センサ	2026年10月16日
特表 2026-534479	無線周波数場を生成するためのコイル	2026年10月16日
特表 2026-534462	調整可能な反応性ガス源を使用する方法および装置	2026年10月16日
特開 2026-169291	基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路	2026年10月16日
特開 2026-168204	高アスペクト比フィーチャのエッチング中の限界寸法制御および保護層の形成に使用される炭素ベース堆積物	2026年10月15日
特開 2026-168200	閉ループ多出力無線周波数（ＲＦ）整合	2026年10月15日
特表 2026-534106	フォトレジストの乾式現像におけるハロゲン化水素の回収	2026年10月14日
特表 2026-533787	基板処理システムにおけるゾーン化された基板支持体の動的温度制御	2026年10月 9日
特表 2026-533149	電極領域に基づく選択的な基板処理	2026年10月 5日
特開 2026-153882	静磁場を使用するプラズマ一様性制御	2026年10月 2日
特表 2026-532725	エッチングプロセスのためのインサイチュパターニング	2026年10月 1日
特表 2026-532554	再構成可能な高度モジュール式前駆体送達システム（ＡＭＰＤＳ）	2026年 9月29日
特開 2026-149659	エッジエクスクルージョン制御	2026年 9月25日

151 件中 1-15 件を表示

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2026-534853 2026-170327 2026-534485 2026-534479 2026-534462 2026-169291 2026-168204 2026-168200 2026-534106 2026-533787 2026-533149 2026-153882 2026-532725 2026-532554 2026-149659

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