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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2025-524798	プラズマエッチングプロセスのためのバイアス電圧調整済波形の精密フィードバック制御	2025年 8月 1日
特開 2025-111580	独立して調節可能な台座を用いるマルチステーション半導体処理	2025年 7月30日
特開 2025-111599	金属含有フォトレジストのためのオールインワン乾式現像	2025年 7月30日
特開 2025-111671	基板処理システムにおいてプラズマを生成するために電力を供給する直接駆動システム用のＲＦ基準測定回路	2025年 7月30日
特開 2025-111726	シャワーヘッド分割冷却板	2025年 7月30日
特開 2025-111754	ボトムおよびミドルエッジリング	2025年 7月30日
特開 2025-111755	カメラウエハを使用した台座セットアップ	2025年 7月30日
特開 2025-111782	反射フーリエプティコグラフィによる大型表面の撮像	2025年 7月30日
特表 2025-524492	統合高アスペクト比エッチング	2025年 7月30日
特表 2025-523815	堆積アプリケーションのための高効率ＬＥＤ基板ヒータ	2025年 7月25日
特開 2025-108467	自動ウェハーハンドリングロボットの教育及びヘルスチェックのための統合化された適応型位置決めシステム及びルーチン	2025年 7月23日
特開 2025-108593	金属含有フォトレジストからの金属汚染の制御	2025年 7月23日
特表 2025-523344	温度推定に基づく高周波システム保護	2025年 7月23日
特表 2025-523413	プラズマ動作中のステーション電圧の変調	2025年 7月23日
特開 2025-107246	有機蒸気によるフォトレジストの現像	2025年 7月17日

168 件中 1-15 件を表示

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2025-524798 2025-111580 2025-111599 2025-111671 2025-111726 2025-111754 2025-111755 2025-111782 2025-524492 2025-523815 2025-108467 2025-108593 2025-523344 2025-523413 2025-107246

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