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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2024-543727	複数のコイル間でダイレクトドライブ無線周波数信号生成器から電流をスプリットするための装置および方法	2024年11月22日
特表 2024-543555	共形炭素ドープ窒化ケイ素膜およびその方法	2024年11月21日
特開 2024-161438	半導体処理のためのチャンバ構成部品のインサイチュ保護被膜	2024年11月19日
特開 2024-161464	半導体製造用途における摩擦攪拌接合	2024年11月19日
特表 2024-542993	カーボンプラグ形成のためのシステムおよび方法	2024年11月19日
特表 2024-543119	シャワーヘッドフェイスプレート構成	2024年11月19日
特開 2024-160298	電気メッキのための幅広リップシール	2024年11月13日
特開 2024-160403	遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするためにラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給するための改良された孔パターンを備える統合シャワーヘッド	2024年11月13日
特表 2024-542072	周波数変調されたマルチレベルアウトフェージング電力増幅器の自動化調節のための方法および装置	2024年11月13日
特表 2024-542075	水蒸気および酸素の分圧の高速かつ選択的制御を伴う基板処理ツール	2024年11月13日
特表 2024-541727	半導体処理操作におけるエッジ均一性向上のためのエッジリング	2024年11月11日
特開 2024-159812	ＲＦプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法	2024年11月 8日
特開 2024-159826	伸長ＲＦストラップを有するインピーダンス整合器	2024年11月 8日
特開 2024-156947	エッチング層をエッチングするための方法	2024年11月 6日
特開 2024-156987	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2024年11月 6日

174 件中 1-15 件を表示

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2024-543727 2024-543555 2024-161438 2024-161464 2024-542993 2024-543119 2024-160298 2024-160403 2024-542072 2024-542075 2024-541727 2024-159812 2024-159826 2024-156947 2024-156987

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