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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-180415	無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換	2024年12月26日
特表 2024-546633	熱原子層エッチングを介した高アスペクト比穴におけるエッチングプロファイルの制御	2024年12月26日
特表 2024-546709	窒化ケイ素の共形堆積	2024年12月26日
特表 2024-546753	ケイ素含有反応物により支援された低温モリブデン堆積	2024年12月26日
特表 2024-546754	ハロゲン含有堆積阻害剤を使用した凹状フィーチャへの金属の堆積	2024年12月26日
特表 2024-546755	高湾曲基板のための均熱およびＥＳＣクランプシーケンス	2024年12月26日
特表 2024-546812	ハイブリッド有機スズ酸化物フォトレジストの現像	2024年12月26日
特表 2024-546885	エッチングチャンバ内の部品間の熱的界面および電気的界面の改善	2024年12月26日
特表 2024-546224	基板処理システムの電源ボックス用のマイクロチャネルアセンブリ冷却電力回路	2024年12月19日
特表 2024-546309	自己封止ガス導管を有し、かつ／または残留物による目詰まりを低減した静電チャック	2024年12月19日
特開 2024-174940	ガス送給用のモジュール式構成要素システム	2024年12月17日
特開 2024-174944	基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング	2024年12月17日
特表 2024-546052	有機塩化物を用いたシリコンエッチング	2024年12月17日
特表 2024-546118	遠隔プラズマ清浄化（ＲＰＣ）送出インレットアダプタ	2024年12月17日
特開 2024-174115	原子層堆積または化学蒸着のための方法および装置	2024年12月13日

197 件中 1-15 件を表示

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2024-180415 2024-546633 2024-546709 2024-546753 2024-546754 2024-546755 2024-546812 2024-546885 2024-546224 2024-546309 2024-174940 2024-174944 2024-546052 2024-546118 2024-174115

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