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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第407位　63件（2020年：第614位　36件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2021-536668	ステーション間の均一性を提供するための方法および装置	2021年12月27日
特表 2021-536671	寿命が延長された閉じ込めリング	2021年12月27日
特開 2021-193752	方法およびエッチングシステム	2021年12月23日
特表 2021-535574	プラズマチャンバの電極への電力送出を最適化するシステムおよび方法	2021年12月16日
特表 2021-535612	エッジリング部品番号をスロット番号にマッピングするための識別子の使用	2021年12月16日
特表 2021-535626	基板処理システムのガス供給システムにおけるハードウェア構成要素のためのソフトウェアエミュレータ	2021年12月16日
特表 2021-534556	基板処理システムにおけるマッチレスプラズマ源のための直接周波数同調	2021年12月 9日
特表 2021-534571	チャンバからＳｎＯ２膜を洗浄するための方法	2021年12月 9日
特表 2021-534584	ＥＵＶリソグラフィのためのＳｎＯ２表面の修飾	2021年12月 9日
特表 2021-534589	高アスペクト比エッチングのための金属含有パシベーション	2021年12月 9日
特表 2021-533273	アーク発生を防止または抑制するための化学蒸着ツール	2021年12月 2日
特表 2021-533541	静電チャック内の電極のパラメータを設定および調節するためのインピーダンスを有するチューニング回路を備えたＲＦチューニングシステム	2021年12月 2日
特表 2021-533567	改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測	2021年12月 2日
特表 2021-533568	抵抗熱測定を介するシャワーヘッド加熱の制御	2021年12月 2日
特表 2021-532265	堆積用のデュアルガス供給シャワーヘッド	2021年11月25日

108 件中 1-15 件を表示

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2021-536668 2021-536671 2021-193752 2021-535574 2021-535612 2021-535626 2021-534556 2021-534571 2021-534584 2021-534589 2021-533273 2021-533541 2021-533567 2021-533568 2021-532265

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