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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2019年特許取得件数ランキング　　　第656位　34件（2018年：第650位　36件）

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2019-537837	統合した直接の誘電体および金属の蒸着	2019年12月26日
特表 2019-537240	複雑な多変量ウエハ処理機器における機械学習を実行する方法及びプロセス	2019年12月19日
特表 2019-536268	アクティブシャワーヘッド	2019年12月12日
特表 2019-534571	静電気的にクランプされたエッジリング	2019年11月28日
特開 2019-153789	保護皮膜を備える石英部品	2019年 9月12日
特開 2019-131888	耐プラズマ皮膜塗布のために表面を選択的にパターニングする方法	2019年 8月 8日
特開 2019-96888	パルス化された低周波数ＲＦ電力による高選択性かつ低応力のカーボンハードマスク	2019年 6月20日
特開 2019-91885	プラズマ処理チャンバのための電極	2019年 6月13日
特開 2019-83309	半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムおよび方法	2019年 5月30日
特開 2019-75555	プロセスパラメータを決定するための方法及び装置	2019年 5月16日
特開 2019-62198	汎用マルチプロトコル産業用データロガー	2019年 4月18日
特開 2019-53978	イオンの方向性を増大させるためのマルチレジームプラズマウエハ処理	2019年 4月 4日
特開 2019-50413	デュアルチャンバ構成のパルスプラズマチャンバ	2019年 3月28日
特表 2019-507375	パターン形成プロセスを制御する方法、リソグラフィ装置、メトロロジ装置リソグラフィックセル、および関連するコンピュータプログラム	2019年 3月14日
特開 2019-31736	完全浸漬された無空気の帰還流量制御弁を用いた気泡および発泡解消方法	2019年 2月28日

17 件中 1-15 件を表示

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2019-537837 2019-537240 2019-536268 2019-534571 2019-153789 2019-131888 2019-96888 2019-91885 2019-83309 2019-75555 2019-62198 2019-53978 2019-50413 2019-507375 2019-31736

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