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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2022年特許取得件数ランキング　　　第512位　53件（2021年：第407位　63件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2022-191406	最適化された低エネルギ／高生産性の蒸着システム	2022年12月27日
特表 2022-553646	プラズマチャンバコンポーネントの無機コーティング	2022年12月26日
特表 2022-553302	モノリス異方性基板支持体	2022年12月22日
特表 2022-553368	マルチステーション集積回路製造チャンバにおける無線周波数（ＲＦ）電力の不平衡化	2022年12月22日
特表 2022-552845	半導体を製造するためのレシピの決定	2022年12月20日
特表 2022-552846	熱検出システムおよび揮発性有機化合物検出システム	2022年12月20日
特表 2022-552224	基板処理システムの基板支持体の発熱体のための電源分離回路	2022年12月15日
特表 2022-552225	基板処理システムにおけるロードロックのための自動クリーニング	2022年12月15日
特表 2022-551897	基板表面のその場監視	2022年12月14日
特表 2022-551965	モリブデン充填	2022年12月14日
特開 2022-184943	モリブデンを含有する低抵抗膜	2022年12月13日
特開 2022-185118	原子層エッチングにおける方向性の制御	2022年12月13日
特表 2022-551152	二重プレナムフラクタルシャワーヘッド	2022年12月 7日
特開 2022-180422	金属膜の蒸着	2022年12月 6日
特開 2022-180423	タングステン用モリブデンテンプレート	2022年12月 6日

188 件中 1-15 件を表示

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2022-191406 2022-553646 2022-553302 2022-553368 2022-552845 2022-552846 2022-552224 2022-552225 2022-551897 2022-551965 2022-184943 2022-185118 2022-551152 2022-180422 2022-180423

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