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ラム リサーチ コーポレーション

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1534位 16件 下降2018年:第577位 52件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第656位 34件 下降2018年:第650位 36件)

(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6465579 チャンバ内整合及びチャンバ間整合のための、複数パラメータを使用したエッチング速度モデル化及びその使用 2019年 2月 6日
特許 6465633 半導体積層構造を形成するための方法および装置 2019年 2月 6日
特許 6461482 半導体製造用の内部プラズマグリッド 2019年 1月30日
特許 6450087 プラズマ露出面上にinsituで形成された保護層を備えるプラズマ処理チャンバのコンポーネント 2019年 1月 9日

34 件中 31-34 件を表示

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6465579 6465633 6461482 6450087

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