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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6557490	不揮発性金属材料のエッチング方法	2019年 8月 7日
特許 6538362	２次元温度出力プロファイルを達成するための熱制御素子の配列への電力入力を算出する方法	2019年 7月 3日
特許 6526377	エッジランピング	2019年 6月 5日
特許 6527677	パルス化された低周波数ＲＦ電力による高選択性かつ低応力のカーボンハードマスク	2019年 6月 5日
特許 6508895	マルチポート弁アセンブリを備えるプラズマ処理装置	2019年 5月 8日
特許 6509495	半導体製造用の内部プラズマグリッドの適用	2019年 5月 8日
特許 6506915	半導体製造用の内部プラズマグリッド	2019年 4月24日
特許 6502628	電気めっきシステム	2019年 4月17日
特許 6494713	プラズマ処理中における磁場パターンの制御／調整方法	2019年 4月 3日
特許 6494940	異なるサイズのフィーチャへのボイドフリータングステン充填	2019年 4月 3日
特許 6495025	真空統合ハードマスク処理および装置	2019年 4月 3日
特許 6483880	ウェハバイアスを決定するための方法およびプラズマシステム	2019年 3月13日
特許 6479085	半導体処理用の交流駆動を用いる多重ヒータアレイ	2019年 3月 6日
特許 6475430	イオン加速器を備えるデュアルチャンバプラズマエッチング装置	2019年 2月27日
特許 6469374	イオンビームエッチングシステム	2019年 2月13日

34 件中 16-30 件を表示

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6557490 6538362 6526377 6527677 6508895 6509495 6506915 6502628 6494713 6494940 6495025 6483880 6479085 6475430 6469374

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