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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2020-518125	冷却ガス区画および対応する溝ならびに単極静電クランプ電極パターンを備える静電チャック	2020年 6月18日
特表 2020-517154	周波数調整を用いたデュアルレベルパルス化のためのＲＦ整合回路網内の補助回路	2020年 6月11日
特表 2020-513065	モリブデンを含有する低抵抗膜	2020年 4月30日
特表 2020-512685	ＲＦパワーエレクトロニクス用冷却システム	2020年 4月23日
特表 2020-512692	柔軟なウエハ温度制御を伴う静電チャック	2020年 4月23日
特表 2020-512701	ボトムおよびミドルエッジリング	2020年 4月23日
特表 2020-510959	複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法	2020年 4月 9日
特表 2020-510994	半導体デバイス製造における酸化スズ膜	2020年 4月 9日
特表 2020-510310	リニア真空搬送モジュールを有する省スペースプラットフォームアーキテクチャ	2020年 4月 2日
特表 2020-510314	酸化シリコンの存在下でのシリコン表面上の酸化シリコンまたは窒化シリコンの選択的成長	2020年 4月 2日
特表 2020-508579	原子層エッチングにおける方向性の制御	2020年 3月19日
特表 2020-506539	熱制御素子を用いるＥＳＣ温度推定のための仮想測定方法	2020年 2月27日
特開 2020-31060	フェースプレート	2020年 2月27日
特表 2020-505722	誘導結合プラズマ処理チャンバ内における低バイアス電圧での基板近傍補充プラズマ密度生成	2020年 2月20日
特開 2020-25100	寄生プラズマを抑制してウエハ内での不均一性を低減するための基板処理システム	2020年 2月13日

66 件中 46-60 件を表示

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2020-518125 2020-517154 2020-513065 2020-512685 2020-512692 2020-512701 2020-510959 2020-510994 2020-510310 2020-510314 2020-508579 2020-506539 2020-31060 2020-505722 2020-25100

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