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ラム リサーチ コーポレーション

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  2020年 出願公開件数ランキング    第499位 66件 上昇2019年:第1534位 16件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第614位 36件 上昇2019年:第656位 34件)

(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-504452 処理均一性を改善した基板支持体 2020年 2月 6日
特表 2020-503674 半導体処理のための円錐形ウエハセンタリングおよび保持装置 2020年 1月30日
特表 2020-502753 プラズマリアクタの寄生成分のシャント取消を提供するシステムおよび方法 2020年 1月23日
特表 2020-502793 ラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給して遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするための温度制御を備えた統合シャワーヘッド 2020年 1月23日
特表 2020-502797 リモートプラズマ処理を用いる炭化ケイ素膜の高密度化 2020年 1月23日
特表 2020-502811 デザイナー原子層エッチング 2020年 1月23日

66 件中 61-66 件を表示

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2020-504452 2020-503674 2020-502753 2020-502793 2020-502797 2020-502811

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