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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2020年出願公開件数ランキング　　　第499位　66件（2019年：第1534位　16件）

　■　2020年特許取得件数ランキング　　　第614位　36件（2019年：第656位　34件）

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2020-527897	キロヘルツ無線周波数発生器の存在下でメガヘルツ無線周波数発生器の供給電力の効率性を高めるためのシステムおよび方法	2020年 9月10日
特表 2020-526660	ウエハ保持装置上におけるめっきの遠隔検知	2020年 8月31日
特表 2020-526031	自己形成バリアプロセス	2020年 8月27日
特表 2020-523739	トランス結合容量性同調切り替えを用いたトランス結合プラズマパルス化のためのシステムおよび方法	2020年 8月 6日
特表 2020-523785	半導体製造における金属ドープ炭素系ハードマスクの除去	2020年 8月 6日
特表 2020-522618	相互接続メタライゼーションにおけるルテニウム層の堆積	2020年 7月30日
特表 2020-522890	半導体処理で使用するための静電チャック	2020年 7月30日
特開 2020-114942	基板処理システムのためのＤＣバイアス回路及びガス供給システム	2020年 7月30日
特表 2020-522134	調整可能／交換可能なエッジ結合リングのための検出システム	2020年 7月27日
特表 2020-521320	リソグラフィにおける確率的な歩留まりへの影響の排除	2020年 7月16日
特表 2020-521330	ウエハ縁部接触ハードウェア、ならびにウエハの裏面縁部およびノッチで堆積物を除去する方法	2020年 7月16日
特表 2020-520096	エッジ配置誤差予測を用いた設計レイアウトパターン近接効果補正	2020年 7月 2日
特表 2020-520099	基板処理システムのための温度調節された基板支持体	2020年 7月 2日
特表 2020-519008	インサイチュ／リモートプラズマ源を併用した高速チャンバクリーニング	2020年 6月25日
特表 2020-519016	可動エッジリング設計	2020年 6月25日

66 件中 31-45 件を表示

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2020-527897 2020-526660 2020-526031 2020-523739 2020-523785 2020-522618 2020-522890 2020-114942 2020-522134 2020-521320 2020-521330 2020-520096 2020-520099 2020-519008 2020-519016

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