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キヤノントッキ株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第417位 70件 上昇2021年:第1401位 13件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7119042 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年 8月16日
特許 7113861 マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 2022年 8月 5日
特許 7106608 マーク検出装置、アライメント装置、成膜装置、マーク検出方法、および、成膜方法 2022年 7月26日
特許 7097172 スパッタリング装置 2022年 7月 7日
特許 7092577 蒸発源及び蒸着装置 2022年 6月28日
特許 7092850 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 2022年 6月28日
特許 7090686 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2022年 6月24日
特許 7088891 蒸発源装置及び蒸着装置 2022年 6月21日
特許 7082172 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 6月 7日
特許 7078694 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年 5月31日
特許 7078696 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年 5月31日
特許 7069280 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年 5月17日
特許 7068381 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 2022年 5月16日
特許 7064407 成膜装置及び成膜装置の制御方法 2022年 5月10日
特許 7060633 成膜装置及び電子デバイス製造装置 2022年 4月26日

71 件中 31-45 件を表示

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7119042 7113861 7106608 7097172 7092577 7092850 7090686 7088891 7082172 7078694 7078696 7069280 7068381 7064407 7060633

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