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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7119042 | 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 8月16日 | |
特許 7113861 | マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | 2022年 8月 5日 | |
特許 7106608 | マーク検出装置、アライメント装置、成膜装置、マーク検出方法、および、成膜方法 | 2022年 7月26日 | |
特許 7097172 | スパッタリング装置 | 2022年 7月 7日 | |
特許 7092577 | 蒸発源及び蒸着装置 | 2022年 6月28日 | |
特許 7092850 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | 2022年 6月28日 | |
特許 7090686 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 6月24日 | |
特許 7088891 | 蒸発源装置及び蒸着装置 | 2022年 6月21日 | |
特許 7082172 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 6月 7日 | |
特許 7078694 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 5月31日 | |
特許 7078696 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 5月31日 | |
特許 7069280 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 5月17日 | |
特許 7068381 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | 2022年 5月16日 | |
特許 7064407 | 成膜装置及び成膜装置の制御方法 | 2022年 5月10日 | |
特許 7060633 | 成膜装置及び電子デバイス製造装置 | 2022年 4月26日 |
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7119042 7113861 7106608 7097172 7092577 7092850 7090686 7088891 7082172 7078694 7078696 7069280 7068381 7064407 7060633
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9月26日(木) -
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