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キヤノントッキ株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第417位 70件 上昇2021年:第1401位 13件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7162639 蒸発源装置、蒸着装置、及び蒸発源装置の制御方法 2022年10月28日
特許 7159238 基板キャリア、成膜装置、及び成膜方法 2022年10月24日
特許 7158098 成膜装置、および、電子デバイスの製造方法 2022年10月21日
特許 7150776 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2022年10月11日
特許 7148587 成膜装置、および電子デバイスの製造方法 2022年10月 5日
特許 7144232 成膜レートモニタ装置及び成膜装置 2022年 9月29日
特許 7140801 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2022年 9月21日
特許 7138504 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2022年 9月16日
特許 7138673 電子デバイスの製造方法、測定方法、及び、成膜装置 2022年 9月16日
特許 7138757 成膜装置、及び電子デバイスの製造方法 2022年 9月16日
特許 7136648 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2022年 9月13日
特許 7133928 減圧容器、処理装置、処理システム及びフラットパネルディスプレイの製造方法 2022年 9月 9日
特許 7127765 静電チャック、成膜装置、基板吸着方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 8月30日
特許 7120545 成膜装置、成膜方法及びこれを用いる有機EL表示装置の製造方法 2022年 8月17日
特許 7118864 成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム 2022年 8月16日

71 件中 16-30 件を表示

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7162639 7159238 7158098 7150776 7148587 7144232 7140801 7138504 7138673 7138757 7136648 7133928 7127765 7120545 7118864

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