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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7162639 | 蒸発源装置、蒸着装置、及び蒸発源装置の制御方法 | 2022年10月28日 | |
特許 7159238 | 基板キャリア、成膜装置、及び成膜方法 | 2022年10月24日 | |
特許 7158098 | 成膜装置、および、電子デバイスの製造方法 | 2022年10月21日 | |
特許 7150776 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年10月11日 | |
特許 7148587 | 成膜装置、および電子デバイスの製造方法 | 2022年10月 5日 | |
特許 7144232 | 成膜レートモニタ装置及び成膜装置 | 2022年 9月29日 | |
特許 7140801 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 9月21日 | |
特許 7138504 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 9月16日 | |
特許 7138673 | 電子デバイスの製造方法、測定方法、及び、成膜装置 | 2022年 9月16日 | |
特許 7138757 | 成膜装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 9月16日 | |
特許 7136648 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2022年 9月13日 | |
特許 7133928 | 減圧容器、処理装置、処理システム及びフラットパネルディスプレイの製造方法 | 2022年 9月 9日 | |
特許 7127765 | 静電チャック、成膜装置、基板吸着方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 8月30日 | |
特許 7120545 | 成膜装置、成膜方法及びこれを用いる有機EL表示装置の製造方法 | 2022年 8月17日 | |
特許 7118864 | 成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム | 2022年 8月16日 |
71 件中 16-30 件を表示
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7162639 7159238 7158098 7150776 7148587 7144232 7140801 7138504 7138673 7138757 7136648 7133928 7127765 7120545 7118864
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