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(2021年:第526位 63件)
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(2021年:第1401位 13件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7012962 | 静電チャック、これを含む成膜装置、基板の保持及び分離方法、これを含む成膜方法、及びこれを用いる電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月31日 | |
特許 7012002 | デバイス製造装置、及びデバイス製造システム | 2022年 1月27日 | |
特許 7010800 | 成膜装置、成膜方法、及び有機EL表示装置の製造方法 | 2022年 1月26日 | |
特許 7007688 | 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月25日 | |
特許 7009340 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月25日 | |
特許 7002438 | ロボットシステム、デバイス製造装置、及びデバイス製造方法 | 2022年 1月20日 | |
特許 6999769 | 成膜装置、制御方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月19日 | |
特許 7001381 | アライメント方法、成膜方法、それを用いた電子デバイスの製造方法、アライメント装置、及び、それを備えた電子デバイスの製造装置 | 2022年 1月19日 | |
特許 6999018 | 成膜装置及びティーチングデータの補正方法 | 2022年 1月18日 | |
特許 6990643 | 静電チャック、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月12日 | |
特許 6987822 | 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月 5日 |
71 件中 61-71 件を表示
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7012962 7012002 7010800 7007688 7009340 7002438 6999769 7001381 6999018 6990643 6987822
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