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キヤノントッキ株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第417位 70件 上昇2021年:第1401位 13件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7012962 静電チャック、これを含む成膜装置、基板の保持及び分離方法、これを含む成膜方法、及びこれを用いる電子デバイスの製造方法 2022年 1月31日
特許 7012002 デバイス製造装置、及びデバイス製造システム 2022年 1月27日
特許 7010800 成膜装置、成膜方法、及び有機EL表示装置の製造方法 2022年 1月26日
特許 7007688 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年 1月25日
特許 7009340 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 1月25日
特許 7002438 ロボットシステム、デバイス製造装置、及びデバイス製造方法 2022年 1月20日
特許 6999769 成膜装置、制御方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 1月19日
特許 7001381 アライメント方法、成膜方法、それを用いた電子デバイスの製造方法、アライメント装置、及び、それを備えた電子デバイスの製造装置 2022年 1月19日
特許 6999018 成膜装置及びティーチングデータの補正方法 2022年 1月18日
特許 6990643 静電チャック、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 1月12日
特許 6987822 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2022年 1月 5日

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7012962 7012002 7010800 7007688 7009340 7002438 6999769 7001381 6999018 6990643 6987822

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