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キヤノントッキ株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第417位 70件 上昇2021年:第1401位 13件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7058316 マスク収納装置と、これを含む成膜装置 2022年 4月21日
特許 7057334 基板保持ユニット、基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置および電子デバイスの製造方法 2022年 4月19日
特許 7057335 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 4月19日
特許 7057336 基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 4月19日
特許 7057337 基板剥離装置、基板処理装置、及び基板剥離方法 2022年 4月19日
特許 7051969 成膜装置 2022年 4月11日
特許 7048696 成膜装置 2022年 4月 5日
特許 7041702 基板ホルダ、基板処理装置及び成膜装置 2022年 3月24日
特許 7039656 アライメントマーク位置検出装置、蒸着装置および電子デバイスの製造方法 2022年 3月22日
特許 7033180 回転駆動装置、これを含む成膜装置、電子デバイスの製造方法 2022年 3月 9日
特許 7024044 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年 2月22日
特許 7021318 成膜装置及び成膜装置の制御方法 2022年 2月16日
特許 7018375 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 2022年 2月10日
特許 7018111 アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2022年 2月 9日
特許 7017619 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年 2月 8日

71 件中 46-60 件を表示

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7058316 7057334 7057335 7057336 7057337 7051969 7048696 7041702 7039656 7033180 7024044 7021318 7018375 7018111 7017619

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