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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7058316 | マスク収納装置と、これを含む成膜装置 | 2022年 4月21日 | |
特許 7057334 | 基板保持ユニット、基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置および電子デバイスの製造方法 | 2022年 4月19日 | |
特許 7057335 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 4月19日 | |
特許 7057336 | 基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 4月19日 | |
特許 7057337 | 基板剥離装置、基板処理装置、及び基板剥離方法 | 2022年 4月19日 | |
特許 7051969 | 成膜装置 | 2022年 4月11日 | |
特許 7048696 | 成膜装置 | 2022年 4月 5日 | |
特許 7041702 | 基板ホルダ、基板処理装置及び成膜装置 | 2022年 3月24日 | |
特許 7039656 | アライメントマーク位置検出装置、蒸着装置および電子デバイスの製造方法 | 2022年 3月22日 | |
特許 7033180 | 回転駆動装置、これを含む成膜装置、電子デバイスの製造方法 | 2022年 3月 9日 | |
特許 7024044 | 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 2月22日 | |
特許 7021318 | 成膜装置及び成膜装置の制御方法 | 2022年 2月16日 | |
特許 7018375 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 | 2022年 2月10日 | |
特許 7018111 | アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2022年 2月 9日 | |
特許 7017619 | 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 2月 8日 |
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7058316 7057334 7057335 7057336 7057337 7051969 7048696 7041702 7039656 7033180 7024044 7021318 7018375 7018111 7017619
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最新の制度改正を反映 海外の特許制度と実務上の留意点(米国・欧州(EPC)・中国)~米国ならびに EPC (欧州特許条約)・中国の各制度の下でのグローバル特許取得の基本的な知識と留意点を解説します~
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